MEMS振動傳感器技術(shù)應(yīng)用分享

  Witium團(tuán)隊推出的設(shè)備預(yù)測性維護(hù)解決方案中，溫振一體傳感器和邊緣計算網(wǎng)關(guān)是非常重要的硬件組成部分。其中，精密小體積的WTS系列傳感器不同于傳統(tǒng)壓電式傳感器，采用的是MEMS技術(shù)，那么MEMS技術(shù)指的是什么呢?

  MEMS微機(jī)電系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystem)，是集多個微機(jī)構(gòu)、微傳感器 、微執(zhí)行器 、信號處理 、控制電路、通信接口及電源于一體的微型電子機(jī)械系統(tǒng)。

  傳統(tǒng)的傳感器件因其制作工藝與半導(dǎo)體 IC工藝不兼容，所以無論在性能、尺寸和成本上都不能與通過IC 技術(shù)制作的高速度、高密度、小體積和低成本的信號處理器件相適應(yīng)，于是制約了整個系統(tǒng)的集成化、批量化和性能的充分發(fā)揮。

  微型傳感器不是傳統(tǒng)傳感器簡單的物理縮小的產(chǎn)物，而是以新的工作機(jī)制和物化效應(yīng)，使用標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝兼容的材料，通過MEMS 加工技術(shù)制備的新一代傳感器件，具有小型化、集成化的特點:

  1、微型化：MEMS振動傳感器器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時間短。

  2、性能提高：可以極大地提高傳感器性能。在信號傳輸前就可放大信號，從而減少干擾和傳輸噪音，提高信噪比;在芯片上集成反饋線路和補償線路，可改善輸出的線性度和頻響特性，降低誤差，提高靈敏度。

  3、陣列性：可以在一塊芯片上集成敏感元件、放大電路和補償線路?？梢园讯鄠€相同的敏感元件集成在同一芯片上。

  4、兼容性：便于與微電子器件集成與封裝。

  5、以硅為主要材料：機(jī)械電器性能優(yōu)良：硅的強(qiáng)度、硬度和楊氏模量與鐵相當(dāng)，密度類似鋁，熱傳導(dǎo)率接近鉬和鎢

  結(jié)合MEMS技術(shù)的優(yōu)點，上海輝泰的傳感器具有超強(qiáng)的性能、實力強(qiáng)硬，方正小體積能夠適應(yīng)客戶現(xiàn)場各種狹窄、惡劣的安裝環(huán)境。且支持三軸傳感，還能采集設(shè)備表面溫度和振動數(shù)據(jù)，為后面WitExpert故障診斷工具對設(shè)備數(shù)據(jù)進(jìn)行機(jī)理模型+數(shù)理驅(qū)動的分析提供了非常大的支持，幫助企業(yè)降低運維成本，讓智能運維更簡單、更高效!